檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "Fuh-Yu Chang".ecommittee (精準) and ckeyword.raw="SDM製程"
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目前國內外微幫浦相關研究,大多數以微機電的製程技術來製作無閥式微幫浦的微流道,幾何形狀只能達到2.5D的特徵,進出口流道的位置與方向,亦受到限制。本研究以推動微小水下載具之需求,開發進出口流道相互垂…